电子氟化液在半导体制造中主要用于以下环节：1. 干法刻蚀控温作为晶圆蚀刻工艺的冷却液，通过高绝缘性和稳定性维持工艺温度，提升芯片良率。需定期补充泄漏的冷却液，通常保持3个月库存量。2. 湿法清洗替代传统清洗剂（如去离子水、异丙醇），其低表面...