一、基础认知：Robot卡滞的本质与风险1.1 什么是Robot卡滞？在PECVD（等离子体增强化学气相沉积）设备中，晶圆传输机械臂（Robot）负责将硅片从晶圆盒（FOUP）中取出，经传输腔室送入工艺腔室完成薄膜沉积。当机械臂在取片、传片...