电子氟化液对铝基板表面氧化膜的影响机制与实证研究 核心结论：符合电子级标准的高纯度全氟聚醚(PFPE)类氟化液，在规范工况下不会导致铝基板氧化膜增厚；但含氢的氢氟醚(HFE)、氢氟烃(HFC)类氟化液，在水分超标、高温、金属离子催化或电场...