一、基础认知：Robot卡滞的本质与风险1.1 什么是Robot卡滞？在PECVD（等离子体增强化学气相沉积）设备中，晶圆传输机械臂（Robot）负责将硅片从晶圆盒（FOUP）中取出，经传输腔室送入工艺腔室完成薄膜沉积。当机械臂在取片、传片...

我们聊芯片制造，总在提光刻、蚀刻、封装，却忽略了一项贯穿芯片制造全程的“基础工程”——**薄膜沉积技术（Thin Film Deposition）**。芯片不是一块实心硅片，而是由上百层、甚至几百层纳米级薄膜，精准堆叠而成的“立体结构”：晶...