3M Novec 3283 是单一组分电子级全氟传热流体,为 7nm 及以下半导体制程蚀刻、离子注入设备的指定温控介质,具备宽温域稳定、高绝缘、低挥发等核心特性;深圳中氟 eflono 130 可完全对标替代,成本降低 40% 以上。...