在芯片封装过程中,电子氟化液因其优异的化学惰性、低表面张力和高绝缘性,被广泛用于检漏环节,以确保器件的气密性符合标准 。该过程主要通过“粗检漏”实现,具体分为两个关键步骤:
1.压入低沸点氟油
将待测芯片置于真空加压罐中,在低于或等于0.7kPa的压力下保持至少30分钟,随后注入低沸点氟化液(轻氟油)完全淹没器件,并用氮气加压一定时间。此步骤利用氟化液的小分子特性和良好渗透性,使其进入微小漏孔 。
2.高沸点氟油加热气泡检漏
卸压后取出器件,干燥约2分钟后放入125℃的高沸点氟油中,观察是否有连续小气泡或多个大气泡从同一位置冒出。若有,则判定为漏气,说明封装密封性不合格 。
这种方法能有效筛选出因密封材料劣质或工艺缺陷导致的泄漏问题,显著提升芯片在高温、高湿等恶劣环境下的可靠性与寿命 。